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UHV-TPD Workstation?超高真空TPD工作站 | SIMS Workstation?二次離子質譜工作站 |
Hiden UHV-TPD工作站是專為超高真空熱脫附研究而設 | Hiden SIMS?工作站,,綜合UHV/SIMS?設備,,進行高級的表 |
計的,。 | 面分析。 |
●?帶有觀測窗和樣品加熱臺的真空室 | ●?各類型樣品的快速轉換 |
●?帶脈沖離子計數檢測器的三級過濾四極質譜儀 | ●?靜態(tài),、動態(tài)SIMS |
(Hiden 3F/PIC) | ●?整體的離子源,用于RGA/SNMS |
●?質量數范圍:1~300,、510,、1000aum | ●?表面修飾/光柵研究 |
●?快速質譜數據采集:>500數據點/秒 | ●?SIMS?表面形態(tài)/成像 |
●?工作站含有操作軟件,可自動控制樣品溫度 | ●?表面污染物分析 |
●?TPD常規(guī)分析,,包括質譜峰的積分和反褶積計算等 | ●?正,、負離子、中性粒子,、自由基的質量,、能量分析儀 |
●?樣品可加熱到1000℃ | ●?讀數電子槍(選配)用于絕緣體研究時的電荷中和 |
●?密閉、自動裝樣器 | ●?快速樣品傳遞,,樣品固定,,負載鎖定的操縱器 |
●?智能操作軟件控制實驗操作 | ●?4?軸:X,Y,Z,θ UHV?操縱器,,以定位樣品 |
? | ●?加上ESM LabVIEW SIMS成像程序,進行SIMS元素成像 |
? | ●?靜態(tài)SIMS光譜資料庫可用 |
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SPACI-MS?空間分辨質譜儀 | Compact SIMS小型二次離子質譜儀 |
SPACI-MS是一臺商業(yè)的空間分辨質譜儀,,可以 | 完備的二次離子質譜和二次中性粒子譜系統,,一種簡單而快 |
進行徑向和軸向的物質檢測和溫度分布繪圖,具有極高空 | 速的工具,,用于分析樣品層狀結構,、表面污染和雜質含量。 |
間和時間分辨率,,可以排除溫度和氣流的干擾,。16路進氣 | 靈敏的正離子檢測,在全質量數范圍內提供同位素分辨率,。 |
口,,連接到hiden的質譜上可以自動、快速地繪制溫度和 | 離子槍的設計,,可以提供納米級的深度分辨率和近表面分析,。 |
氣體分布譜圖。 | ●?體積小巧 |
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●?發(fā)動機催化反應 | ●?10個樣品裝載 |
●?尾氣排放 | ●?深度剖析 |
●?燃料電池研究 | ●?僅需單相電源(<10A) |
●?非熱平衡等離子體反應 | ●?正二次離子質譜和二次中性粒子譜 |
●?定量分析反應器內的瞬態(tài)和分布 | ●?移動車的設計 |
●?高時間分辨和小的擾動 | ●?3D表征和成像 |
●?空間分辨:0.1mm | ●?質譜圖 |
●?軸向驅動:0~300mm | ●?同位素分析 |