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| RGA系列四極質(zhì)譜儀 | 三級(jí)過(guò)濾（3F）四極質(zhì)譜儀系列 |
| Hiden RGA系列四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀,，用于真空診斷 | Hiden HAL 3F質(zhì)譜儀適用于高精密科學(xué)研究和UHV過(guò)程分 |
| 和工藝過(guò)程的精確分析。 | 析,。 |
| ●?PPM靈敏度,質(zhì)量數(shù)至300amu | ●?高精度的殘余氣體分析 |
| ●?穩(wěn)定性好：24小時(shí)以上峰高變化小于±0.5% | ●?靈敏度高,，檢測(cè)范圍100%～5ppb |
| ●?MASsoft軟件控制；顯示柱狀圖,、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰 | ●?質(zhì)量數(shù)可達(dá)1～2500amu |
| ●?快速掃描：100amu/s | ●?長(zhǎng)期穩(wěn)定性,，超過(guò)24h峰高變化小于±0.5% |
| ●?混合模式掃描,多窗口顯示信息 | ●?離子源控制以利于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜 |
| ●?多種離子源供選擇 | ●?有6、9,、12mm直徑的四極桿可選 |
| ●?同步背景扣除,，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)排列 | ●?快速掃描：100amu/s |
| ●?數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows軟件 | ●?多離子源供選擇 |
| ●?動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換（DDE）至Excel,、SPC-IV等軟件 | ●?在一級(jí)濾過(guò)處增加射頻,，抗污染物 |
| ? | ●?脈沖離子計(jì)數(shù)器選件可檢測(cè)連續(xù)7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍 |
