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UHV-TPD Workstation?超高真空TPD工作站 | SIMS Workstation?二次離子質(zhì)譜工作站 |
Hiden UHV-TPD工作站是專(zhuān)為超高真空熱脫附研究而設(shè) | Hiden SIMS?工作站,綜合UHV/SIMS?設(shè)備,,進(jìn)行高級(jí)的表 |
計(jì)的,。 | 面分析,。 |
●?帶有觀測(cè)窗和樣品加熱臺(tái)的真空室 | ●?各類(lèi)型樣品的快速轉(zhuǎn)換 |
●?帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器的三級(jí)過(guò)濾四極質(zhì)譜儀 | ●?靜態(tài),、動(dòng)態(tài)SIMS |
(Hiden 3F/PIC) | ●?整體的離子源,,用于RGA/SNMS |
●?質(zhì)量數(shù)范圍:1~300,、510,、1000aum | ●?表面修飾/光柵研究 |
●?快速質(zhì)譜數(shù)據(jù)采集:>500數(shù)據(jù)點(diǎn)/秒 | ●?SIMS?表面形態(tài)/成像 |
●?工作站含有操作軟件,可自動(dòng)控制樣品溫度 | ●?表面污染物分析 |
●?TPD常規(guī)分析,,包括質(zhì)譜峰的積分和反褶積計(jì)算等 | ●?正,、負(fù)離子、中性粒子,、自由基的質(zhì)量,、能量分析儀 |
●?樣品可加熱到1000℃ | ●?讀數(shù)電子槍?zhuān)ㄟx配)用于絕緣體研究時(shí)的電荷中和 |
●?密閉、自動(dòng)裝樣器 | ●?快速樣品傳遞,,樣品固定,負(fù)載鎖定的操縱器 |
●?智能操作軟件控制實(shí)驗(yàn)操作 | ●?4?軸:X,Y,Z,θ UHV?操縱器,,以定位樣品 |
? | ●?加上ESM LabVIEW SIMS成像程序,,進(jìn)行SIMS元素成像 |
? | ●?靜態(tài)SIMS光譜資料庫(kù)可用 |
?
SPACI-MS?空間分辨質(zhì)譜儀 | Compact SIMS小型二次離子質(zhì)譜儀 |
SPACI-MS是一臺(tái)商業(yè)的空間分辨質(zhì)譜儀,可以 | 完備的二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜系統(tǒng),,一種簡(jiǎn)單而快 |
進(jìn)行徑向和軸向的物質(zhì)檢測(cè)和溫度分布繪圖,,具有極高空 | 速的工具,用于分析樣品層狀結(jié)構(gòu),、表面污染和雜質(zhì)含量,。 |
間和時(shí)間分辨率,可以排除溫度和氣流的干擾,。16路進(jìn)氣 | 靈敏的正離子檢測(cè),,在全質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)提供同位素分辨率。 |
口,,連接到hiden的質(zhì)譜上可以自動(dòng),、快速地繪制溫度和 | 離子槍的設(shè)計(jì),,可以提供納米級(jí)的深度分辨率和近表面分析。 |
氣體分布譜圖,。 | ●?體積小巧 |
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●?發(fā)動(dòng)機(jī)催化反應(yīng) | ●?10個(gè)樣品裝載 |
●?尾氣排放 | ●?深度剖析 |
●?燃料電池研究 | ●?僅需單相電源(<10A) |
●?非熱平衡等離子體反應(yīng) | ●?正二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜 |
●?定量分析反應(yīng)器內(nèi)的瞬態(tài)和分布 | ●?移動(dòng)車(chē)的設(shè)計(jì) |
●?高時(shí)間分辨和小的擾動(dòng) | ●?3D表征和成像 |
●?空間分辨:0.1mm | ●?質(zhì)譜圖 |
●?軸向驅(qū)動(dòng):0~300mm | ●?同位素分析 |